Used product introduction半導体製造装置 中古製品情報


中古装置[縦型減圧CVD装置 HG-21]

縦型減圧CVD装置・インターポーザー(ガラスETCH) HG-21 (自社製品)
中古機1台あります。オーバーホール品、搬入、設置、稼働まで ご要望にお答えいたします。

中古装置[RF電源]

RF電源
MA-5KY MA2-5KY MA3-5KY
DKK SA-1A MA1-CY STC-1E



AMS社MA1-CY/DKK社SA-1A

中古装置[アドバンスドエナジー社DC電源]

ピナクル20KW×2台
ピナクル6KW+6KW×1台
ピナクル5KW×1台
AE-PEP2500×1台
光CVD・マイクロ波電源


Pinnacle

中古装置[その他機器]

BIRDオイルダミーロード8931
BIRD-RFパワーメーター4421×3台
BIRDセンサー4024(10KW)×5台
BIRDセンサー4021(1KW)×3台
ADTECパワートレーサーAW8000
MKSコントローラー×3台
MKSコントローラー×3台
MKSコントローラー×4台
Tektronix P6015A・高圧プローブ
FLIR E64501
MKS / ASTEX ASTRON リモートプラズマ
ENTechnologies Genius6
OMRON FIT10-CPU01(フロッピーディスクSDカード仕様に)


BIRDオイルダミーロード

BIRDオイルダミーロード

BIRD-RFパワーメーターなど

BIRD 4421 RF POWER METER

MKS 252 Exhaust Valve Controller

MKS 152 Pressure Controller

MKS 600 Pressure Controller

MKS 600 Pressure Controller

Tektronix 高電圧プローブ

Tektronix 高電圧プローブ

BIRD 4021 DIRECTIONAL POWER SENSOR

FLIR サーモグラフィカメラ

MKS/ASTEX ASTRON リモートプラズマ

ENTechnologies Genius6

OMRON FIT10-CPU01
業務に合わせたカスタマイズや、設置、導入後の保守管理も可能です。詳しくはお問い合わせください。

新技術開発に魂を注がれておられます研究者様のお役に少しでも立ちたい。その思いから、当社ではCVD装置の開発、メンテナンス及びカスタマイズに技術を注いでおります。
アメリカから半導体製造装置がやってきて、凡そ78年、その黎明期から業界に携わり、今日にいたるまで多くの研究者様の助言を賜り、ハード面で技術を重ねてきた我々だからこそできることがあると信じております。