
縦型減圧CVD装置 HG21


スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応し10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能。高性能かつ低価格を実現したハイグレード縦型減圧CVD装置。
-
「横型減圧CVD装置 / 横型プラズマCVD装置」
横型減圧CVD装置:3~12インチ対応、横型プラズマCVD装置:3~8インチ対応
半導体製造装置用プロセスコントローラー
HG-21に搭載された当社オリジナルのWindowsプロセスコントローラーはグラフイカルな各種装置・PLCを制御を可能にしますので、産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用してご活用いただいております。
製品
中古製品入荷情報
中古装置[縦型減圧CVD装置 HG-21]
縦型減圧CVD装置・インターポーザー(ガラスETCH) HG-21 (自社製品)
中古機1台あります。オーバーホール品、搬入、設置、稼働まで ご要望にお答えいたします。
中古装置[RF電源]
RF電源
MA-5KY MA2-5KY MA3-5KY
DKK SA-1A MA1-CY STC-1E


AMS社MA1-CY/DKK社SA-1A
中古装置[アドバンスドエナジー社DC電源]
ピナクル20KW×2台
ピナクル6KW+6KW×1台
ピナクル5KW×1台
AE-PEP2500×1台
光CVD・マイクロ波電源

Pinnacle

中古装置[その他機器]
BIRDオイルダミーロード8931
BIRD-RFパワーメーター4421×3台
BIRDセンサー4024(10KW)×5台
BIRDセンサー4021(1KW)×3台
ADTECパワートレーサーAW8000
MKSコントローラー×3台
MKSコントローラー×3台
MKSコントローラー×4台
Tektronix P6015A・高圧プローブ
FLIR E64501
MKS / ASTEX ASTRON リモートプラズマ

BIRDオイルダミーロード

BIRD-RFパワーメーターなど

MKS Exhaust Valve Controller

MKS Pressure Controller

Tektronix 高電圧プローブ

FLIR サーモグラフィカメラ

MKS / ASTEX ASTRON リモートプラズマ
業務に合わせたカスタマイズや、設置、導入後の保守管理も可能です。詳しくはお問い合わせください。
-
FANUC製6軸ロボットへのリプレイス
ASM社製プラズマCVD装置PXJ-200に搭載された三菱製ロボットからFANUC製6軸ロボットへのリプレイスが可能です!!
三菱製5軸ロボットオーバーホール
PXJ-200等に搭載された三菱製ロボット本体、ギヤ交換調整、コントローラーを含むオーバーホール作業
ASM社製「Eagle-10」等に搭載のRF電源
日本ASM社製「Eagle-10」等に搭載されている電気興業社製RF電源「ST-1E」「STC-1E」等の修理・保守点検・カスタマイズ・中古機器移設によるセッティング等
その他メーカーサービス・サポートの終了した半導体関連機器の修理、カスタマイズなどご相談ください。
メンテナンスサービス














