Products製品・その他業務内容

製品
縦型減圧CVD装置 HG21
横型減圧CVD装置 / 横型プラズマCVD装置
半導体製造装置用プロセスコントローラー
半導体前工程装置関連
ロボットシステム制御
半導体後工程装置関連・その他
製品

縦型減圧CVD装置 HG-21

スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応し10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能。高性能かつ低価格を実現したハイグレード縦型減圧CVD装置。

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置

お客様のニーズに合わせカスタマイズされたCVD装置の設計・製造を行います

縦型、枚葉型、ウエハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの仕様変更に対応可能

当社の標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です

汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール
各種ウエハー（3" 6" 8"/inch）に対応
スモールフットプリントを実現
（ポンプユニット別途）
ホットN2ユニットオプション可能
高機能・低価格
ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減
常温～900℃まで安定した温度コントロールを実現
高真空～弱減圧まで真空圧コントロール可能

多彩な膜種に対応

p-doped a-Si /p-doped poly-Si
b-doped a-Si
a-Si /poly-Si
高温酸化膜SiH4＋N2O/SiH2cl2+N2O
窒化膜SiH2Cl2＋NH3
N2 /O2 /H2アニール
外寸2250～2650mm×1040mm×1900mm

横型減圧CVD装置/横型プラズマCVD装置

横型減圧CVD装置：3～12インチ対応
横型プラズマＣＶＤ装置：3～8インチ対応

特徴

加熱システム

上下2分割ヒーターによる10ゾーン制御（5ゾーン×2）
メンテナンス性向上（石英TUBE交換時間短縮）

成膜特性（減圧CVD）

①高温酸化膜（SiH4/N2O）（SiH2Cl2/N2O）
②窒化膜（SiH2CL2/NH3）
③p-doped a-Si/p-doped-Poly-Si
④b-doped a-Si
⑤Poly-Si

成膜特性（プラズマCVD）

①窒化膜SiH4/NH3
②窒化膜SiH4/N2

真空度

①高真空～弱減圧まで自在にコントロール

自動搬送

①ロボット搬送
②カンチレバーAUTO-LOAD方式

Windows制御（当社独自開発）

①PC＋PLC制御による安全性の向上
②豊富なデーターLOG機能

半導体製造装置用プロセスコントローラー

HG-21に搭載された当社オリジナルのWindowsプロセスコントローラーでグラフイカルに各種装置・PLCを制御 産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能です。

従来の老朽化したCVD装置コントローラーをWindowsベースのプロセスコントローラーに載せ替えが可能。
WindowsPCから簡単にプロセス条件を変更出来、DI・DO・AI・AOで制御する多くの装置に応用可能で各種研究開発用装置に大いに利用できます。
半導体関連の装置も含めた、各構成部品等に関しましてメーカーサービスサポートの終了した装置、構成機器、部品等について、お客様の様々なご要望にお応え致します。
その他業務内容

半導体前工程装置関連


半導体前工程装置関連
PE/LP-CVD(横型)/ランプアニール炉/縦型炉装置/縦型減圧CVD装置/高温減圧CVD装置/SiC膜・BN膜成膜装置の製造販売、カスタマイズ、移設、立ち上げ、修理作業

▼装置カスタマイズ事例
ヒーター断線警報化改造、CVD～除害装置間の信号配線設計施工、ガス配管更新工事/配管設計含む、プロセスコントローラー更新工事、オムロン旧シーケンサーリプレイス工事

装置用6軸ロボット新システムの製造販売
多関節ロボット、FANUC製(ファナック)既存5軸ロボット修理/定期点検作業

プロセスコントローラーの製造販売
Windows対応コントローラーによる、研究開発用装置及び既存装置のリプレイス工事、立ち上げ作業

▼産業機器システム構築事例
FA用Windowsプログラムの構築、WindowsからPLC(プログラマブルコントローラ)をグラフィカルに制御する為のプログラム

システムの構築

▼産業機器システム構築事例(1)
三菱電機株式会社のシーケンサMELSEC用CC-Linkネットワークの設計・施工、FPGAの施工、WindowsをMMI(マンマシンインターフェース)として制御するシステムの構築、シーケンサー/Ver-UP改造等

▼産業機器システム構築事例(2)
PLC－PC間通信（KEYENCE：上位リンク通信 / 三菱電機株式会社：MELSEC通信）を用いた、制御システムの設計・施工、FPGAの施工、WindowsをMMI(マンマシンインターフェース)として制御するシステムの構築

電子回路基板等の設計製作
インプラ装置用 / 帯電導電チェッカー設計製作販売

プロトタイプの作成

▼安価なプロトタイプの作成例
Winodwsから、Arduinoを介して 電磁弁制御、温調、各種デジタル、アナログ値の取得、出力を実現します。
簡単な手順で、ステップの条件とタイミングを登録することが可能です。

LabVIEW開発者認定資格(CLD)のライセンスを持つスタッフがお客様のニーズに合った、 効率的で費用効果のある最適なシステムをご提供いたします。

電力監視ユニット
HNP-300
PCから真空ポンプの電力状況を監視することが可能、荏原・樫山・Edwardsなど各種メーカーに対応

CRT互換液晶の設計製造販売
プラズマCVD装置用液晶画面対応
各装置の液晶画面等、タッチパネル液晶等の修理、調整、バックライト交換

RF電源修理、電気興業製RF関連の発振器修理調整、高周波電源修理
430KHZ/13.56MHZ/マッチングBOX/マッチングコントローラ

MKS製圧力コントローラーの修理調整

温度調整器等の修理調整、理化工業、オムロン等

スマートガスフロー設計
新規ガス対応、新規ガスライン設置など

各種マイコン制御
デジタル入出力DI/DOの追加、信号の変換など。研究者様のニーズに合わせて、プログラム開発をいたします。CVD装置の制御システムのうち、何処をどのプログラムに任せるか、また、ロボットによるウエハーのサーチや搬送制御をニーズに合わせて作成いたします。

シリンダーキャビネット設計・制作

石英部品の設計・制作

MAII-5KY/MAIII-5KY修理及びオーバーホール(430KHZ)
誘導加熱HOT-N2製造販売(AC100V/400W)
PUMP制御BOX設計製作

ロボットシステム制御


NI社 LabVIEWソフトによるロボット通信制御ソフト開発
　(LabView開発者認定資格保有)
WindowsをMMI(マンマシンインターフェイス)としてPLCを通信制御するシステムの構築
PC画面上で運用レシピを作成し転送(PLC+PC制御)
　⇒PLCラダーソフトの知識不要
FANUC 6軸ロボット

DENSO 6軸ロボット
三菱 ロボット 置換 OH 他

半導体後工程装置関連


ボンディングチェッカー設計、製造、販売
ボンダー関連の稼動監視システム設計、及びCC-Link配線設計、施工
9インチCRTの互換液晶販売
パトライト用信号変換BOXの設計製作、販売

半導体製造装置関連の移設立上げ等


装置の移設立上げ･据え付け調整等
装置の撤去･移動
中古装置販売･メンテナンス

その他



OMRON FIT10-CPU01
フロッピーディスクSDカード仕様に
各種省力化機器の設計製造、販売
メカ機構設計、板金設計他請負
電気機器修理他
電気設備保守点検
各種機器のフロッピーディスクをSDカード仕様に変更

設備のご案内


当社ではスペクトラムアナライザー、横河DL1740デジタルオシロスコープ、菊水電子負荷PLZ-450、菊水高圧電源TOS-5051などの保守点検に必要な検査設備、修理用の交換パーツを備えています。


新技術開発に魂を注がれておられます研究者様のお役に少しでも立ちたい。その思いから、当社ではCVD装置の開発、メンテナンス及びカスタマイズに技術を注いでおります。
アメリカから半導体製造装置がやってきて、凡そ78年、その黎明期から業界に携わり、今日にいたるまで多くの研究者様の助言を賜り、ハード面で技術を重ねてきた我々だからこそできることがあると信じております。