Maintenance&Overhaul メンテナンス・オーバーホールサービス
ASM･PXJ-200等のロボットリプレイス作業（FANUC製）
現在ご使用されているPXJ-200に搭載された三菱製ロボットからFANUC製6軸ロボットへのリプレイスが可能です。 従来のロボットに比べライトハンド/レフトハンドの区別なく、高精度、軽量（重量30kg以下）により安定稼働。オプションの位置補正カメラ搭載によりズレ位置を都度補正しながらのワークも可能です。
▲FANUC製6軸ロボットへのリプレイス事例
ASM･PXJ-200、PXX-200搭載ロボット関連機器のOH･メンテナンス
メーカーサービスサポートの終了したロボットコントローラー修理や、ギア交換調整含むロボットのオーバーホール作業、本体移設立ち上げ、セッティング、カスタマイズなど承っております。
ASM社製 Eagle-10 電気興業社製 各種機器メンテナンス･セッティング
ASM社製プラズマCVD装置「Eagle-10」や「PXJ-200」等に搭載された各種機器のOH及びセッティング･カスタマイズ･立ち上げなどの各種メンテナンス
電気興業社製マッチングネットワーク「ST-1E」、マッチングコントローラー「STC-1E」（日本ASM社製「Eagle-10」等に搭載）
RF電源 SA-1E 及び MA3-5KY 等
Eagle-10、Eagle-12本体のリファビッシュ･メンテナンス･移設立ち上げなど
▲電気興業マッチングネットワーク ST-1E
▲電気興業マッチングコントローラー STC-1E
半導体･CVD関連装置のメンテナンス･カスタマイズ･セッティング
修理調整
保守点検
カスタマイズ
収束時間調節
中古移設立ち上げ
マッチングトラブル
自動整合試験
出力安定化
メンテナンス・調整の終了後に高解像度デジタルオシロスコープによる測定結果をプリントアウトして添付しております。
CVD･半導体業界に30年以上携わりハード面で経験を重ねてきた我々だからこそ出来る技術があります。 半導体･CVD関連装置及びメーカーサポートの終了した機器などのメンテナンス･カスタマイズ･セッティング･移設立ち上げなど柔軟に対応いたします。一度ご相談下さい。
設備のご案内
